無(wú)塵室主要是由下列各項(xiàng)系統(tǒng)所組成的
瀏覽次數(shù)：4131發(fā)布日期：2022-03-15
無(wú)塵室中不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
無(wú)塵室最主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為無(wú)塵室。按照國(guó)際慣例，無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無(wú)塵是必然的要求。
無(wú)塵室構(gòu)成：
無(wú)塵室的構(gòu)成是由下列各項(xiàng)系統(tǒng)所組成，在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的，否則將無(wú)法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的無(wú)塵室：
1、天花板系統(tǒng)：包括吊桿、綱)、天花板格子梁；
2、空調(diào)系統(tǒng)：包括空氣艙、過(guò)濾器系統(tǒng)、風(fēng)車等；
3、隔墻板(Partitional wall)：包括窗戶、門；
4、地板：包括高架地板或防靜電地板、以及環(huán)氧自流平及滾涂地面；
5、照明器具：包括日光燈、黃色燈管等；
6、無(wú)塵室之建筑主體構(gòu)造，一般是用鋼筋或骨水泥，但無(wú)論是何種構(gòu)造，必須滿足如下之條件：
?、?、不會(huì)因溫度變化與振動(dòng)而發(fā)生裂痕；
?、?、不易產(chǎn)生微塵粒子，且很難附著粒子；
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?、堋榱司S持室內(nèi)之濕度條件，熱絕緣性要高。
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